1.极限真空度：6.7*10-4Pa；
2.工作真空度：8.0*10-3Pa；
3.抽速：从大气抽至8.0*10-3Pa，≤15分钟；
4.压升率：0.5Pa/小时；

产品名称：真空镀膜机PVD1212
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