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维修工业电源设备如:刻蚀、RIE、PECVD、ICP、射频溅射、CVD和PVD等系统,也可作为工厂业系统中感应加热和电介质加热设备的电源 CLX系列低频电源、CLF系列低频电源、CX系列高频电源、CX5K和CX10K高频射频功率源、CXH系列高功率/高频电源、CPS系列高频电源、CB系列高频射频电源、CV系列甚频(VHF)电源、CDX系列双频电源、XDC1000直流电源、MATCH自动调谐网络、ESC系列静电夹盘电源。
产品名称:浙江射频电源维修
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