在生活中，时时刻刻都存在着静电。但我们尤其关注洁净室中的静电，因为洁净室内使用的很多材料是绝缘非导电的材料，很容易带上静电，而且洁净室内生产的产品又大多数是对静电敏感的产品，因此，洁净室中需对静电进行防护。

现在，我们先来看一下洁净室的概念。在半导体、平面液晶显示器、光电子和生物医药的生产都需要洁净的生产车间。通常洁净室是指空间空气悬浮粒子浓度被控制在规定界限内的房间或限定空间，这尘埃粒子的粒径越小和被限定的粒数越小，洁净度便越高。

洁净室内的静电

①由于洁净室的洁净度要求，洁净室内很多材料摩擦容易起电带电，不易泄漏释放。

洁净室内材料的电压

材料名称

电压范围

光刻间塑料地面

500V~1000V

扩散间塑料地面

500V~1500V

瓷砖地面

500V~1500V

塑料墙纸

700V

塑料顶棚

OV~1000V

金属活动皮椅面

500V~3000V

②人穿洁净工作服、鞋、步行或工作时，与不同物质设备器材摩擦要产生静电，人、衣服、鞋都会带电。

人穿尼龙衣、塑料胶底鞋缓慢地在清洁的地板上走动，人身上带7000V~8000V静电压。

在乙烯基地板上行走可带1200V（10%~20%RH）、250V（65%~90%RH）。

在地毯上行走可带35000V（10%~20%RH）、1500V（65%~90%RH）。

晶片装配线，人穿的工作服可达10KV。

③大量的绝缘器材、装备和工具，也是重要的静电电荷源。

④空调气流经过初效过滤器、中效过滤器、高效过滤器、净化出口气流是带静电的。

总之：洁净室的洁净度要求越高，静电带电的现象就可能越严重,对静电的防护要求也相应地越高。


产品名称：静电与洁净室
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