半导体行业用膜分离制氮机
由于膜分离制氮机不需要启动切换阀和电磁阀,因而比变压吸附制氮机的可靠性更高。膜分离制氮设备通常适合氮气纯度小于等于98%的应用场合
技术指标
氮气流量:5-1000Nm3/h
氮气纯度:95-99.9%
氮气压力:0-1.2MPa
产品名称:半导体行业用膜分离制氮机
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