应用对象包括：刻蚀、RIE、PECVD、ICP、射频溅射、CVD和PVD等系统，也可作为工厂业系统中感应加热和电介质加热设备的电源

单频射频电源 、双频射频电源 、 直流电源 、ESC静电卡盘电源 、自动调谐匹配网络。

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产品名称：双频射频电源维修
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