扩散炉系列 
　　设备用途：用于大规模集成电路、太阳能电池片、电力电子、光电器件、光导纤维等行业的氧化、扩散、烧结、合金等工艺。 
　　设备特点：单元组合方式。根据工艺的不同，可以在主机的基础上配气源柜、超净工作台、悬臂推拉舟等。 
　　 
　　主要技术指标： 
　　★炉管数：1～4管 
　　★配工艺管口径：Φ90～360　mm（3～12英寸） 
　　★恒温区长度：760～1000　mm±1.0℃（300～800℃） 
　　760～1000　mm±0.5℃（800～1280℃） 
　　★单点稳定性：±1.0℃／24h（300～800℃） 
　　±0.5℃／24h（800～1280℃） 
　　★气源路数：≤7路，可配恒温源瓶、氢氧合成点火器 
　　★气体控制：浮子／质量流量计 
　　★悬臂舟参数：速度：20～1000　mm／min 
　　***大行程：2000　mm 
　　定位精度：±1　mm 
　　***大载荷：17　Kg 
　　★超净工作台：净化等级：100级（万级厂房） 
　　噪音：≤62dB（A） 
　　振动：≤3μm
产品名称：卧式高温扩散炉--程控高温扩散炉--微控低温扩散炉
产品手机链接：http://m.vooec.com/product_199458144.html
产品网站链接：http://www.vooec.com/cpshow_199458144/