设备简介：

该设备为我司研发用于石墨烯薄膜连续生长或者线性材料的连续的专用设备，此款设备是快速冷却卷对卷CVD连续生长炉，它由高温生长腔体，三路质量流量计气路系统，真空机组，石英管，冷却装置，收放卷的密封装置，自动化控制系统组成，两端分别安装有进料进气真空腔室和出料排气真空腔室（即收放铜箔或纤维丝的密封装置），收放密封装置内分别对应安装有放卷滚轮和收卷滚轮，所输出料排气腔体与炉体之间安装有冷却装置。相对于现有技术具有快速冷却、连续生长的优点，可以进行大面积、高质量石墨烯的规模化生长或者线性材料的连续生长。（纤维生长工艺，配有纤维张力计，可以通过调节电机转速，以便达到纤维连续进出且受力均匀）

1.加热系统

最高温度

1200℃

使用温度

≤1100℃

炉膛有效尺寸

Φ80mm（适用于2-3英寸样品，炉管直径可根据实际需要定制。）

炉膛材料

氧化铝、高温纤维制品

热电偶类型

K型热电偶

控温精度

±1℃

控温方式

30段可编程控温，PID参数自整定，操作界面为7”工控电脑，内置PLC控制程序。

加热长度

200+200+200mm

加热原件

电阻丝

供电电源

单相，220V，50Hz



2、三路质子流量控制系统

连接头类型

双卡套不锈钢接头

标准量程（N2)

200sccm，500sccm、1000sccm（可根据用户要求定制）

准确度

±1.5%F.S

线性

±1%F.S

重复精度

±0.2%F.S

响应时间

气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec

工作压差范围

0.1～0.5 MPa

最大压力

3MPa

接口

Φ6,1/4’’

显示

4位数字显示

工作环境温度

5~45高纯气体

压力真空表

－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格

截止阀

Φ6

内外双抛不锈钢管

Φ6



3、低真空机组

空气相对湿度

≤85%

工作环境

5℃～40℃

工作电电压

220V±10% 50~60HZ

功率

1KW

抽气速率

10m3/h

极限真空

5X10-1Pa

工作压力范围

1.01325X105～1.33X10-2Pa

耐压值

0.03MPa

容油量

1.1L

进气口口径

KF25

排气口口径

KF25

噪音

50dB

连接方式

采用波纹管，手动挡板阀与波纹管相连






产品名称：PECVD
产品手机链接：http://m.vooec.com/product_222148441.html
产品网站链接：http://www.vooec.com/cpshow_222148441/