HVA 矩形阀 88200 系列
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HVA 矩形阀 88200 系列
上海伯东美国 HVA 矩形阀门 88200系列矩形板阀是采用了直连驱动技术的接口阀,可靠使用寿命超过1百万次。HVA 闸板阀专用于真空相关系统,起隔绝真空压力的作用。HVA真空闸板阀外形尺寸小,设计紧凑,可靠应用于生产线与过渡腔室(load-lock chamber),过渡腔室(load-lock chamber)与传输系统(handling system),传输系统(handling system)与工艺腔室(process chamber)等等,需要分隔真空压力的地方。
HVA 88200 系列矩形真空板阀产品特点
1. 超百万次可靠运行寿命
2. 不产生粉末,颗粒,防尘设计
3. 阀动作平稳,振动和冲击小
4. 标准接口,或按客户要求定制
5. 阀体材料经过1E-6Torr,1100℃真空铜焊处理
6. 适用于1E-9Torr,200℃条件下
HVA 88200 系列矩形真空板阀技术参数
连接形式:
标准或定制法兰
主体材料:
铝
公称通径:
DN32*222 mm-DN50*336
DN32*222 mm-DN100*1250
漏率:
2x10E-9 AtmCC/Sec
压力范围:
1x10E-9 Torr
烘烤温度:
《150℃
适用介质:
水、蒸汽、空气
密封形式:
软密封型
驱动方式:
气动
使用寿命:
1000000 启闭次数
请联络上海伯东邓女士,分机134
产品名称:HVA 矩形阀 88200 系列
产品手机链接:http://m.vooec.com/product_224453535.html
产品网站链接:http://www.vooec.com/cpshow_224453535/