晶圆真空退火炉主要用于半导体晶圆在高真空环境下的低温退火。

尺寸：4-8英寸晶圆

晶圆舟：标准25片

控温精度：±3℃

升温速率：10℃/min

洁净等级：百级洁净

真空度：5*10-4 Pa

使用温度：200-550度



青岛晨立电子有限公司成立于2009年，是半导体设备及零部件、电子设备及电子元器件生产、研发、销售厂家。为客户提供先 进材料热处理、高 精度电加热设备及系统集成等全套解决方案。

主要产品：高低温扩散炉、实验炉、共晶炉、烧结炉、加磁炉、高 精度智能温度控制系统和替代进口的扩散炉炉体等，同时承接各种微电子生产线，进口半导体专 用设备的翻新升级改造及各大专院校科研院所的非标研发定制工作。

公司本着和谐、共赢，以“质量求发展、以诚信为根本、以客户为中心、以用户满意”为目标的企业方针，为客户提供优 质的产品，优良的服务。
产品名称：晶圆真空退火炉 半导体氧化退火设备最好公司 青岛晨立
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