电池行业用超纯水包括蓄电池生产用纯水，锂电池生产用纯水 ，太阳能电池生产用纯水，蓄电池格板用纯水。电池中电解液的配备对纯水要求十分严格, 通常要求水的电导率在0.1us/cm（电阻值在10兆欧姆）以上，传统用来制备电池用超纯水的工艺是常采用阴阳树脂交换设备，该工艺的缺点在于树脂在使用一段时间以后要经常再生。随着膜分离技术的不断成熟，现在常常采用反渗透过滤工艺，或者是采用一级反渗透后面再经过离子交换混床（或电去离子EDI）工艺来制取超纯水。
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