产品描述

设备用途：用于大规模集成电路、太阳能电池片、电力电子、光 电器件、光导纤维等行业的氧化、扩散、烧结、合金等工艺。

设备特点：单元组合方式。根据工艺的不同，可以在主机的基础上配气源柜、超净工作台、悬臂推拉舟等。

主要技术指标：

1. 炉管数： 1～4管

2. 配工艺管口径：Φ90～360 mm (3～12英寸)

3. 恒温区长度： 760～1000 mm±1.0℃ (300～800℃)

760～1000 mm±0.5℃(800～1280℃)

4. 单点稳定性： ±1.0℃/24h (300～800℃)

±0.5℃/24h (800～1280℃)

5. 气源路数： ≤7路，可配恒温源瓶、氢氧合成点火器

6. 气体控制： 浮子/质量流量计

7. 悬臂舟参数： 速度： 20～1000 mm/min

最大行程：2000 mm

定位精度：±1 mm

最大载荷：17 Kg

8. 超净工作台： 净化等级：100级（万级厂房）

噪音： ≤62dB（A）

振动： ≤3μm



产品名称：供应扩散炉、炉体系列--青岛晨立电子有限公司
产品手机链接：http://m.vooec.com/product_2673152.html
产品网站链接：http://www.vooec.com/cpshow_2673152/