洁净室:是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。洁净室最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为洁净室。
洁净度：以单位体积空气某粒径料子的数量来区别的洁净程度。
1000级无尘车间，主要过滤>=0.5UM尘埃粒子，其送风量按换气数一般在50次/H以上
设计建造洁净厂房一般按照以下国家规范要求：
洁净室及洁净区空气中悬浮粒子洁净度等级

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