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高真空CVD系统

主要特点:
BTF1700C - 80HV是高温管式炉和高真空组合系统。炉体采用硅钼棒加热最高温度可至1700℃,高真空系统采用进口分子泵机组,一键操作,简洁方便,无噪音。系统通过标准配件连接,全部采用不锈钢材料,电抛光处理。其广泛应用于荧光粉材料,金属材料,磁性材料,半导体材料,陶瓷材料,电化学,薄膜材料,CVD,石墨烯,硅纳米管,纳米线,等研究领域。
技术参数:



真空管式炉 炉管尺寸: 外径Φ60×1000mm、Φ80×1000mm
(可根据客户要求选配各种管式炉)
极限温度: 1700℃
工作温度: 800-1600℃
温度控制器: PID自动控制 晶闸管(可控硅)输出功率, 30段可编程控制器
最快升降温速率: 1400℃以下≤10℃/min,1400℃到1600℃≤5℃/min,1600℃以后≤2℃/min
加热区: 457mm
恒温区: 150mm
温度精度: ±1 ℃
电源: 单相220V,交流50Hz

多通道流量计控制系统 标准量程: 100,200 ,500,1000SCCM; (以氮气标定,除以上标准外量程可选)
准确度: ±1.5%
工作压差范围: 0.1~0.5 MPa
最大压力: 3MPa
接头类型: Φ6双卡套不锈钢接头

高真空系统 泵体积流量N2: 33 L/S
压缩比: ≥1011mbar
实验真空值: 10-5mbar
功率消耗: 140W
启动时间: 2min
电源要求: 185-265VAC

产品名称:高真空CVD系统
产品手机链接:http://m.vooec.com/product_4425683.html
产品网站链接:http://www.vooec.com/cpshow_4425683/

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