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微电子行业超纯水系统

10吨/小时超纯水处理系统,系统工艺流程:超滤+二级反渗透+EDI+TOC+抛光混床

电阻率≥18MΩ.cm;超纯水出水纯度符合GB/T11446.1-1997中1级电子级水标准。 TOC≤10PPb
自动控制系统配置要求:采用西门子触摸屏+PLC控制,同时配备手动控制系统,所有参数均可在触摸屏上显示,如原水流量、RO产水流量、RO浓水流量、终端纯水流量、RO产水电导率、EDI产水电导率、EDI产水电阻率、终端纯水电阻率、原水温度、终端纯水温度等,实现PLC控制系统全程自动运行,自动检测、自动完成冲洗过程;
工艺纯水系统控制说明:采用PLC全自动控制,可24小时连续自动运行。各泵和启动阀均设有手动、停止、自动选择开关,可任意选择控制方式。
反渗透系统的自动操作功能包括:加药泵、高压泵、冲洗电磁阀的顺序启动和停止;系统启动后,计量加药泵会根据系统的工作与否自动加药,系统停运时反渗透装置自动进行低压冲洗,以防运行中反渗透膜表面产生的污垢在膜表面沉积,系统具有完备的自动/手动控制功能,可保证装置在不同工作环境下运行,其完善的安全保护体系提高了系统的可靠性及使用寿命。
其他:当PLC系统万一发生故障时,系统可转换为手动状态,操作人员可通过就地仪表盘操作系统,完成各工艺流程操作。


产品名称:微电子行业超纯水系统
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