VHS-4 扩散泵产品特点：

VHS-4 扩散泵更短的抽气时间
从大气压到极限真空，运转平稳无间隙，即使在很低的压力下，仍拥有大抽速。

VHS-4 扩散泵行业领先的真空性能
专为达到最低的极限压力而设计，极限分压强达：8 X 10-2 mbar (6 X 10-2Torr)

苛刻应用下牢固耐用
•不锈钢转子
•铸铁定子和外壳
•碳纤维旋片
•氟橡胶密封
•双（或三）气镇阀，用于抽除高含水气体
•进气口防返油隔断阀，在断电时及时减少返油，保持真空

高可靠性
•高效率的油循环系统确保在各种苛刻环境下的润滑和密封
•低噪声，低震动

环境友好设计
•使用去油雾装置，保障在真空泵工作压力全范围内减少油雾排放
•配备用于油路循环的浮球阀

结构紧凑，安装方便
•采用风冷
－泵体罩壳设计使空气冷却效率更高
－集成热交换器带走多余热量
•体积比同等抽速泵更小

型号 实际抽速（m3/h） 极限分压强(mbar) 极限总压强（mbar） 最大排水蒸汽能力（kg/h） 功率
(kW)
50HZ 60HZ 50HZ 60HZ 50HZ 60HZ
MS40+ 40 10-4 4 X 10-3 N/A 0.75
MS-101 95 109 ≤ 0.1 mbar ≤ 0,5 mbar 2.2 3 2.2 3
MS-301 250 290 ≤ 8 x 10-2 mbar ≤ 0,7 mbar 5 7 5.5 7.5
MS-631 590 680 ≤ 8 x 10-2 mbar ≤ 0,7 mbar 20 30 15 18.5

MS-101 / MS-301 / Ms-631旋片泵

产品名称：安捷伦VHS-4 扩散泵
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