1、单质靶材：硼靶材，碳靶材，镁靶材，铝靶材，硅靶材，钪靶材，钛靶材，钒靶材，铬靶材，锰靶材，铁靶材，钴靶材，镍靶材，铜靶材，锌靶材，镓靶材，锗靶材，硒靶材，钇靶材，锆靶材，铌靶材，钼靶材，钌靶材，铑靶材，钯靶材，银靶材，镉靶材，铟靶材，锡靶材，锑靶材，碲靶材，铪靶材，钽靶材，钨靶材，铼靶材，锇靶材，铱靶材，铂靶材，金靶材，铅靶材，铋靶材，镧靶材，铈靶材，镨靶材，钕靶材，钐靶材，铕靶材，钆靶材，铽靶材，镝靶材，钬靶材，铒靶材，铥靶材，镱靶材，镥靶材。
　　 2、陶瓷靶材：氧化锌靶材，铝氧化锌铝靶材，氧化铝靶材，氧化锑靶材，氧化锑掺锡靶材，钛酸钡靶材，钛酸锶靶材，钛酸锶钡靶材，铁酸镥靶材，钛酸镨靶材，钛酸铅靶材，锆酸铅靶材，锆酸锶靶材，铌酸锂靶材，氧化铋靶材，氧化镓靶材，氧化锗靶材，氧化铪靶材，氧化铟靶材，氧化铟锡靶材，氧化镁靶材，氧化钼靶材，氧化铜靶材，氧化铬靶材，氧化铁靶材，氧化碲靶材，氧化硅靶材，氧化钽靶材，氧化钛靶材，氧化锡靶材，氧化钨靶材，氧化钒靶，氧化铈靶材，氧化镝靶材，氧化铒靶材，氧化钆靶材，氧化钬靶材，氧化镧靶材，氧化镥靶材，氧化钕靶材，氧化镨靶材，氧化钐靶材，氧化钪靶材，氧化铽靶材，氧化铥靶材，氧化镱靶材，氧化钇靶材，硼化铬靶材，硼化镧靶材，二硼化钛，硼化锆靶材，碳化四硼靶材，碳化硅陶瓷靶材，碳化钛靶材，碳化钨靶材，氮化铝靶材，氮化硼靶材，氮化硅靶材，氮化钛靶材，碲化镉靶材，碲化铅靶材，碲化锌靶材，硒化铋靶材，硒化铟靶材，硒化锌靶材。
　　 3、合金靶材：锌铝靶材，铝铜靶材，铝镁靶材，铝硅靶材，铝银靶材，钴铁合金靶材，钴铁硼靶材，铜钴靶材，铜镍靶材，铜锆靶材，铁硼靶材，铁碳靶材，铁锰靶材，铱锰靶材，铱铼靶材，铟锡靶材，镍铝靶材，镍铬靶材，镍铬硅靶材，镍铁靶材，镍钛靶材，镍钒靶材，钐钴靶材，银铜靶材，银锡靶材，钽铝靶材，铽铁靶材，钛铝靶材，钛镍靶材，钛铬靶材，钨铼靶材，钨钛靶材，锆铝靶材，锆钛靶材，锆钇靶材，锌镁靶材，铜铟镓硒靶材，铜铟靶材，铜铟镓靶材，锑铟靶材，锗碲靶材，锗锑碲靶材。
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