供应链(带)式隧道炉系列、扩散炉系列(图)
链(带)式隧道炉系列
设备用途:用于半导体器件烧结、焊接、烘干、管壳气密封装等。
链(带)式烧结炉特点
1. 本设备为气氛保护炉,保护气氛为氢气、氮气、氩气等。
2. 设备具有连续工作性,保证生产效率。
3. 独特的气幕帘与机械幕帘结合,确保炉膛与空气隔绝。
4. 多温区控制炉温,方便调整工艺曲线。
5. 链带速度无级连续可调。
6. 根据用户要求可配加湿器。
链(带)式烧结炉主要技术指标
7.带宽: 90~350 mm
8.炉膛高度: 100~200 mm
9.炉膛宽度: 100~370 mm
10.冷却段长: 1000~3000 mm
11.温度范围: 300~1050℃
12.等温区长: 600~1500 mm
13.控制精度: ±2℃
14.控制段数: 4~10段
15.带速: 20~500 mm/min
16.升温时间: 90~240min
17.升温功率: 20~120 KVA
18.保护气体: 3~5路氮气0~100 l/min 一路氢气0~80 l/min
产品名称:供应链(带)式隧道炉系列、扩散炉系列(图)
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