PECVD石墨舟
石墨舟型号总体可分为两类,156和125的,具体的:(包括自动舟和手动舟)
156-13片,载硅片数量144片;
156-19片,载硅片数量216片;
156-21片,载硅片数量240片;
156-23片,载硅片数量308片;
125-15片,载硅片数量196片;
125-19片,载硅片数量252片;
125-21片,载硅片数量280片;
以上各类石墨舟上海弘竣实业有限公司均可提供,包括所有配件,并可更换销钉。
产品名称:PECVD石墨舟
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