用途：

该设备用于半导体芯片生产工艺过程中，在可控磁场中实现真空退火、真空合金、真空晶化等工艺。该系统具有精确的磁场强度和温度控制系统和高真空系统。

主要技术参数：

◆结构型式：卧式热壁型

◆工作温度范围：500度，700度，1100度。

◆恒温区长度及精度：±0.5℃/800mm

◆气体流量设定精度:±1％F.S

◆气路系统气密性： 1×10-7pa.m3/s

◆工艺均匀性:≤±5％

◆控制方式： 工业微机控制

◆真空度： 5*10-4 Pa

◆记录工艺曲线数量及工艺步数不受限制


青岛晨立电子有限公司成立于2009年，是半导体设备及零部件、电子设备及电子元器件生产、研发、销售厂家。为客户提供先进材料热处理、高精度电加热设备及系统集成等全套解决方案。

主要产品：高低温扩散炉、实验炉、共晶炉、烧结炉、加磁炉、高精度智能温度控制系统和替代进口的扩散炉炉体等，同时承接各种微电子生产线，进口半导体专用设备的翻新升级改造及各大专院校科研院所的非标研发定制工作。
产品名称：磁力真空退火炉 磁场真空退火炉 青岛晨立电子有限公司
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