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RTP真空退火炉、真空合金炉

RTP管式退火炉、真空合金炉用于先进材料需要在高真空、快速升降温、等条件下进行工艺的非标定制设备,可根据客户不同需求定制。



主要技术参数

◆工艺管数量:1管

◆工艺管口径:Φ90-360mm(3~12英寸)

◆结构型式:卧式热壁型

◆工作温度范围:200~1100℃

◆恒温区长度及精度:±1℃/600mm

◆气路系统气密性: 1×10-7pa.m3/s

◆真空度: 3×10-4Pa

◆升温速度: 60度/min

◆降温速度: 60度/min

◆控制方式: 工业微机控制

◆记录工艺曲线数量及工艺步数不受限制


产品名称:RTP真空退火炉、真空合金炉
产品手机链接:http://m.vooec.com/trade_507809891.html
产品网站链接:http://www.vooec.com/sjshow_507809891/

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