RTP真空退火炉、真空合金炉
RTP管式退火炉、真空合金炉用于先进材料需要在高真空、快速升降温、等条件下进行工艺的非标定制设备,可根据客户不同需求定制。
主要技术参数
◆工艺管数量:1管
◆工艺管口径:Φ90-360mm(3~12英寸)
◆结构型式:卧式热壁型
◆工作温度范围:200~1100℃
◆恒温区长度及精度:±1℃/600mm
◆气路系统气密性: 1×10-7pa.m3/s
◆真空度: 3×10-4Pa
◆升温速度: 60度/min
◆降温速度: 60度/min
◆控制方式: 工业微机控制
◆记录工艺曲线数量及工艺步数不受限制
产品名称:RTP真空退火炉、真空合金炉
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